特許第6709273号　登録

当社事業の核技術となる以下の出願が、特許第6709273号として登録されました。

発明の名称：蒸着装置及び有機電子デバイスの生産方法

　　　特許公開番号：特開2019-173154
　　　公開日：2019年10月10日
　　　特許出願番号：特願2018-225364
　　　出願日：2018年11月30日
　　　優先日：2018年3月28日

課題：本発明は、誘導加熱方式で有機材料を製膜する上で、ノイズを抑えて実用的な蒸着装置等を提供することを目的とし、特に、大電流に対応できる回路構成の蒸着装置等を提供することを目的とする。