アイヒーティングの技術
Technology
高周波加熱ユニット
- 特長01高い温度応答性
- 特長02優れた制御性
- 特長03高い再現性
迅速な昇温・降温速度制御により作業効率アップ！
i3-operaで蓄積したノウハウを活用した再現性改善
i3-operaでは、市販の真空蒸着装置では実現困難な高いレベルでの成膜再現性を実現しています！
詳しくはi3-operaの「デバイス再現性(1)」をご確認ください
シミュレーションを利用した技術開発
弊社では、高周波誘導加熱する際のるつぼ形状などの影響をシミュレーションにより予測する技術開発も進めています。
シミュレーションイメージ
高周波電源ユニット
- 特長01独自のコンパクト設計
- 特長02加熱素材・形状への柔軟対応
- 特長03制御系との一体化が可能
独自設計で、加熱対象への高い柔軟性を持っています。
弊社電源ユニットは、パワーMOSFETインバータを利用した独自設計で、加熱対象の形状や素材や形状への高い柔軟性を持っています。 更に、速度モニターなどと連動した一体型制御系の構築も可能です。
高周波電源ユニットのみの販売も行っております
小型高周波電源ユニットの
他用途への展開
弊社が開発した高周波電源ユニットは、コンパクト、汎用性といった特長を持っています。このため、有機EL分野での利用のみでなく、半導体加工や精密分析など幅広い用途への適用が期待される。
半導体製造ライン
精密分析
イメージ写真
お問い合わせ
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050-3580-6013 平日 09:00〜18:00有機EL用真空蒸着装置
新規IH技術を搭載した有機EL用真空蒸着装置！
私たちの新規IH加熱技術を搭載した真空蒸着システムが、従来の抵抗加熱システムと同等以上の性能を有することを「有機EL素子」を作製することで実証しました。
この結果は、2019年6月に米国サンノゼで開催されたディスプレイ技術関連の国際学会(SID2019)で発表しました。
国際学会(SID2019)
誘導加熱(Induction Heating, IH)とは?
導電性材料(主に金属)を加熱するための非接加熱方式。
加熱用コイルに流れる交流電流が被加熱物(導体)に電流を誘起し、この電流(誘導電流) により導体内にジュール熱を生成する現象。
蒸着方法を変更しても
OLEDに特性に変化なし！
問題点01
機器構成が複雑となり高価になる
問題点02
高周波配線部が長く
電力ロスが発生する
加熱ユニットと電源ユニットの一体化により高性能 真空蒸着装置の小型化を実現！
従来のIH電源ユニットでは、高周波を電線により送するため、電波ノイズ発生や精密な出力制御が困難などの問題がありました。
蒸着速度の高速化・精密化を実現！
新規IH加熱ユニットを搭載した真空蒸着システムは、従来の抵抗加熱システムよりも急速昇温、降温が可能、精密温度制御が可能などの特長があります。